CEM3000一鍵快速成像掃描電鏡全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡,不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業(yè)應用能力,而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠。
NS系列磁吸式測針臺階儀臺階高度重復性能低于5A,Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達亞埃米級,且垂直方向動態(tài)比率高,可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。
CEM3000簡易操作臺式掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測,具有高空間分辨率。
CEM3000國產(chǎn)高性能掃描電鏡全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,憑借空間分辨率出色和易用性強,用戶能夠非??旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
VT6000微納三維形貌共聚焦顯微鏡通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。
SuperViewW白光三維表面形貌儀測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
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