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CEM3000一鍵快速成像掃描電鏡全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B基于復(fù)合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡，不僅擁有強(qiáng)大的抗振性能和高效的工業(yè)應(yīng)用能力，而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠。

NS系列磁吸式測(cè)針臺(tái)階儀臺(tái)階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測(cè)量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級(jí)，且垂直方向動(dòng)態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。

CEM3000簡(jiǎn)易操作臺(tái)式掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強(qiáng)，整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì)，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí)，該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測(cè)，具有高空間分辨率。

CEM3000國(guó)產(chǎn)高性能掃描電鏡全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，憑借空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶能夠非?？旖莸剡M(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

VT6000微納三維形貌共聚焦顯微鏡通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中，其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中。

SuperViewW白光三維表面形貌儀測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。